MicroProf® 200 - это высокопроизводительный, широко и успешно применяемый измерительный прибор для бесконтактного неразрушающего определения параметров поверхности и слоёв всех видов. Базируется на надёжной мульти-сенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно легко и надёжно измерять топографию, шероховатость и контур. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление MicroProf® 200 к Вашим задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf 200 к новым измерительным задачам клиента. Одновременно будут удовлетворены наивысшие требования к автоматизации.
MicroProf® 200 принадлежит к FRT- семейству мультисенсорных приборов для измерения поверхностных характеристик и может гибко приспосабливаться к требованиям пользователя посредством легкой смены датчиков. Среди прочих методов, может быть применён принцип хроматического измерения расстояний. Свет высокоинтенсивного светодиода через измерительную головку с фокусным расстоянием, сильно зависящим от длины волны, фокусируется на поверхности. Спектр рассеянного поверхностью света имеет характерный пик данной длины волны, определяющий высоту элемента поверхности. На основе этого принципа измерительный прибор прекрасно работает практически на всех поверхностях любых материалов: от высокоотражающих зеркал до сильнопоглощающих пластиков и многого другого.
Система |
|
Конструктив |
портал |
Датчики |
мультисенсор |
Измерительный стол |
|
Область перемещения |
250 мм х 200 мм |
Привод |
прямой |
Подшипник |
крестороликовый |
Шаговое разрешение |
50 нм |
Ровность |
< 2 мкм/ 100 мм |
Макс. скорость |
300 мм/с |
Нагрузка |
5 кг |
Ось Z |
моторизованная |
Вертикальное перемещение |
50 мм (100 мм опционально) |
Системные требования |
|
Общие |
чистота, постоянная температура, отсутствие вибрации |
Напряжение |
110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза |
Размеры (длина х ширина х высота) |
1100 мм х 820 мм х 1800 мм |
Вес |
ок. 500 кг |
Параметры (измерительная головка) |
CWL 300 мкм, CWL 600 мкм, CWL 3 мм, CWL 10 мм, CWL 25 мм |
Область измерений xy |
250 мм х 200 мм |
Область измерений z |
600 мкм |
Продольное разрешение |
2 мкм |
Вертикальное разрешение |
6 нм |