Описание:

Имплантер модели IMC-400, разработанный компанией «Ion Beam Services», предназначен для решения производственных задач и для проведения исследований при имплантации стандартных и/или редко применяемых примесей.

Особенности:

• Низкая стоимость эксплуатации.
• Доказанная надежность работы.
• Программы поддержки при разработке процессов имплантации примесей.
• Легкость техобслуживания и ремонта.
• Учет пожеланий заказчика при разработке и модификации имплантера.
• Широкий ряд предлагаемых опций, в т.ч. набор опций типа «включил и работай» для применений от -150°С до +600°С.
• Возможно применение 2-х конечных станций, одна из которых будет служить для R&D применений и использовать загрузку в ручном режиме, а во второй можно осуществлять загрузку подложек при помощи робота.
• Разработанный модуль векторного сканирования позволяет осуществлять легкий выбор из запрограммированных или самостоятельно разработанных пользователем схем сканирования.

Опции:

• Ионные источники: Бернаса, Фримана, Твердотельный источник, Специальный IBS источник для Al, источник распыления.
• Имплантация двойного заряда.
• Имплантация ионов низкой энергии (2 кэВ).
• Подача рабочих веществ из жидкой фазы.
• Нагрев подложек.
• Охлаждение подложек: водой, жидким азотом ( -150°С).
• Робот-податчик (на 25 пластин).