Новая установка VIISta Trident ‒ это самое современное решение для ионной имплантации с высоким ионным током в производстве полупроводников. Она базируется на проверенной в производственных условиях, однопластинчатой платформе ионной имплантации VIISta с высоким ионным током, которая стала новым эталоном для чистоты энергии, равномерности, регулирования угла наклона и мощности дозы для удовлетворения требований изготовления современных высокопроизводительных узлов.

Платформа Trident имеет конструкцию с плоским лучом с двойными магнитами и инновационным модулем очистки энергии (EPM) для обеспечения точных, контролируемых профилей. EPM также эффективно фильтрует частицы, генерируемые элементамиканала пучка, максимально изолируя пластину от загрязнения. Платформа VIIStaTrident ‒ единственная высокоточная система, которая способна измерять и корректировать угол наклона луча с использованием уникальной цикличной системы управления, которая обеспечивает высокоточный и повторяемый контроль угла падения для установки точных нулевых значений и углов наклона имплантации.

Конфигурация VIIStaTridentCrion ™ дополняет платформу Trident благодаря расширенным возможностям криогенной имплантации, включая более эффективное охлаждение пластины и улучшенное управление температурой, что позволяет применять технологии нанесения повреждений и применения сверхточной модификации материала с увеличением производительности до 50%. На современных узлах активация легирующей примеси и устранение дефектов вне диапазона становятся значительными проблемами, которые могут препятствовать пропорциональной миниатюризации высокопроизводительных чипов. Установка Crion обладает интегрированной станцией охлаждения пластин, как и у PTC II XP, что исключает время ожидания перед имплантацией.

Линейка установок с высоким ионным током VIISta находит применение у самых передовых производителей памяти, логики и полупроводников по всему миру.