Плазменная технология имплантации установки Varian VIISta PLAD ™ сверхвысокого дозирования обеспечивает проверенный временем метод быстрой имплантации высоких концентраций легирующего материала по всей поверхности пластины, используя низкоэнергетический процесс, который не будет нарушать чувствительные схемы.

Установка позволяет выполнять высококлассное дозирование с высокой однородностью и с важными особенностями, обеспечивающими следующие преимущества:

• Плазма высокой плотности с низкой энергией позволяет обходиться без травления или повреждения подложки
• Продвинутая радиочастотная технология обеспечивает уникальный контроль процесса осаждения
• Импульсное смещение постоянного тока обеспечивает точное управление энергией, глубиной и дозой для большого количества различных процессов
• Переменный коэффициент заполнения повышает гибкость процесса
• Минимальное количество брака при массовом производстве с контролем дозы на месте

Установка VIISta PLAD ™ базируется на платформе VIISta, общей для других систем Varian. Такая унификация помогает сократить время подготовки производства и повысить производительность при любом техпроцессе.