Установка для ионной имплантации VISTA HCP использует новаторскую технологию Varianс высоким ионным током для обеспечения высокой производительности.

Инновационная конструкция с плоским лучом с двойными магнитами улучшают передачу канала луча, эффективность использования и увеличивают выходной ток пучка.

Конструкция с плоским лучом с двойными магнитами VIISta HCP изолирует пластину от частиц, созданных осаждениями и ударом пучка в камерах источника имплантата и элементах канала луча.

VIISta HCP измеряет и регулирует управление лучом с помощью циклической системы позиционирования Varian, которая обеспечивает точное, воспроизводимое и блокируемое управление углом наклона для установки точных нулевых значений и углов наклона имплантатов.

Дополнительная конфигурация VIISta HCP PTC II даёт новые возможности платформе HCP, а именно криогенную имплантацию, которая позволяет применять технологии нанесения повреждений и применения сверхточной модификации материала. На современных узлах активация легирующей примеси и устранение дефектов вне диапазона становятся значительными проблемами, которые могут препятствовать пропорциональной миниатюризации высокопроизводительных чипов.