Установка VISTA 3000XP изготовлена на основе признанной однопластинчатой с двумя магнитами, архитектуре Varian и обеспечивает точность угла наклона, необходимую для создания современных высокомощных устройств.

При создании технологических узлов менее 65-нм с помощью серийного методана установке ионного легирования, производительность таких узлов ограничена. Для достижения точного контроля угла наклона, величин и производительности, требуемых для изготовления устройств следующего поколения, необходима однопластинчатая архитектура.

VIISta 3000XP оснащена однопластинчатым конечным оборудованием, дозиметрической системой и системой позиционирования, как и ведущая в отрасли установка VIISta 900XP.