Установка VIISta 900XP позволяет обеспечить точность, чистоту, производительность и минимальное количество брака при ионной имплантации со средним ионным током. Кроме того, расширенный диапазон энергий, позволяющий работать при 300 кэВ и 600 кэВ с зарядовыми состояниями + и ++, делают VIISta 900XP более продуктивной, чем традиционные пакетные высокоэнергетические инструменты для суб-МэВ изготовления.

Воспроизводимость и точное управление углом наклона имплантации имеют решающее значение для прецизионного легирования при изготовлении самых современных устройств в большом объеме. Система Varian Positioning System (VPS) обеспечивает необходимый уровень контроля при любом применении установки.

VIISta 900XP имеет чистейший канал пучка в отрасли. Магнитный фильтр удаляет большинство загрязнений прямо у источника. Конструкция с двумя магнитами изолирует пластину от переносимых лучом металлов, частиц и других загрязнений.

VIISta 900XP обладает такой же производительностью, как и ведущая в отрасли установка 500WPH. Параллельная обработка пластин, быстрая установка луча и опция для увеличения тока пучка ещё больше увеличивают производительность установки.