Установка Varian VIISta 900 3D‒ это приемник системы Varian VIISta 900 XPT, ведущей в отрасли установки ионной имплантации со средним ионным током для крупносерийного производства. При проектировании новой установки были учтены возрастающие требования к точности имплантации (или легирования) и минимального количества дефектов при создании новых архитектур 2-нм узлов3D-устройств. Конструкция канала пучка была специально разработана с учетом точности угла наклона и управления формой луча, необходимыми для точного размещения легирующей примеси и минимального изменения параметров для различных применений в плавниковых транзисторах логики и системах 3D-памяти. Кроме того, технологические возможности установки можно использовать для производства КМОП датчиков изображения, а также самых передовых планарных структур.

В новой установке используется уже зарекомендовавшая себя конструкция канала пучка платформы VIISta. Магнитный фильтр удаляет лишние примеси прямо у источника. Конструкция с тремя магнитами обеспечивает максимальную чистоту канала пучка, доступных в установках данного типа, удаляя переносимые лучом металлы, частицы и различные загрязнения задолго до того, как луч достигнет пластины. Уникальная комбинация элементов управления вертикальным углом и формой луча улучшает точность имплантации, а также микро- и макро-единообразие в цикле, которые минимизируют изменчивость имплантатов. Воспроизводимость и точный контроль угла наклона имплантации являются важнейшими показателями для современных устройств, малейшее изменение которых может серьезно отразиться на работе устройства. Возможность контроля точности вертикального и горизонтального угла наклона повышенадо 0,1º, что в два раза больше,чем в технологиях предыдущего поколения.