Проблема появления пиков температуры при отжиге на узлах 32/28-нм и менее сводит к минимуму разницу температур, возникающую из-за изменений поглощения излучаемой энергии внутри матрицы. Это явление известно как эффект загрузки рисунка (PLE). Система Vulcan «переворачивает технологию вверх дном» для минимизации этого эффекта, благодаря использованию нагревательных ламп, расположенных внизу пластины для достижения совершенной однородности нагрева.

В дополнение к высокой однородности температуры, система может работать с большим диапазоном технологических процессов от ультранизких до сверхвысоких температур (150 ° C ‒ 1300 ° C). Таким образом, она сочетает в себе расширенные возможности своего предшественника ‒ системы Vantage Radiance®Plus RTP с универсальностью применения для дополнительных этапов, таких как сверхбыстрый отжиг, ультра-низкотемпературный отжиг и отжиг широкого диапазона металлов. И её «быстрые пики» закалки улучшают производительность устройства, устраняя длительные периоды остывания при отжиге, которые могут неблагоприятно влиять на изготовление высокопроизводительных устройств с низким энергопотреблением.

Система Vulcan является первой платформой с технологией быстрой термической обработки (RTP) на основе ламп, которая обеспечивает возможность автоматической регулировки температуре приближенной к комнатной посредством передаваемых многоточечных измерений температуры для низкотемпературной обработки, что обеспечивает превосходную повторяемость измерений от пластины к пластине. Проработка границ между двумя материалами имеет большое значение для современных узлов. Использование низкотемпературной системы Vulcan позволяет оптимизировать качество взаимодействия этой границы при диффузии никеля или более совершенных материалов в кремний, что облегчает масштабирование для создания более тонких, совершенных силицидов с повышенной производительностью.