Система физического осаждения из паровой фазы AKT Aristo Twin PVD расширяет линейку систем Applied Materials для производства сенсорных панелей. Новая система позволяет производителям панелей осаждать все слои пленки с помощью технологии PVD в одной системе в широком диапазоне размеров подложек из стекла площадью до 5,5 м2.

Система AristoTwin имеет две дорожки вакуумной обработки, которые могут полностью контролироваться и управляться независимо друг от друга. Эта уникальная возможность обеспечивает максимальную универсальность процесса изготовления сенсорных панелей по самым современным технологиям.

Современная емкостная сенсорная панель состоит из нескольких пленок SiO2, оксида индия и олова (ITO), металла и металлического сплава, нанесенных на одну или обе стороны стеклянной подложки. Параллельная архитектура системы Aristo Twin позволяет одной системе осаждать все необходимые слои пленки с помощью технологии PVD в соответствии с технологическим процессом создания емкостной сенсорной панели.

Система также обеспечивает новый уровень эффективности производства при производстве сенсорной панели. Она обладает на 40% более высокой производительностью, чем конкурирующие альтернативы. Концепция отдельной вакуумной дорожки в сочетании с проверенными в производственных условиях камерами для осаждения и механизмами транспортировки подложки обеспечивает высокую работоспособность. Одна вакуумная дорожка может проходить техническое обслуживание, в то время как вторая будет полностью функционировать.

Для дальнейшего увеличения интервалов между техническим обслуживанием, модули осаждения обладают передовой технологией вращающихся мишеней, которая обеспечивает гораздо более высокий уровень их использования, чем у обычного плоского исполнения и обеспечивает оптимальное качество пленки и контроль запылённости для высокой производительности.