KLA-Tencor Surfscan 6420 является многоканальной измерительной системой, приспособленной для решения широкого спектра задач. Благодаря использованию современной конструкции и уникальных технологических решений оборудование в состоянии детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях (поликремний, вольфрам) и, одновременно, демонстрировать разрешающую способность менее 0,1 мкм на гладких поверхностях (полированный кремний, эпитаксиальный слой). Уникальная конфигурация оптической системы, переменная поляризации света и многоканальная система детекторов позволяет с высокой точностью измерять нерегулярности тонких пленок—крайне важный параметр для процессов химико-механической планеризации.

Технологическое преимущество

Все технологические наработки, зарекомендовавшие себя в системах Surfscan 6000 соединены в Surfscan 6420. Благодаря специальной многопараметровой технологии частицы на поверхности материала выделяются на уровне общего сигнала. Библиотека дефектов с функцией «обучения» позволяет автоматически распознавать дефекты и сортировать их по размерам с минимальным процентом ошибочного определения. Это обстоятельство делает возможным сравнение между собой различных установок, расположенных на разных производственных участках и эффективно организовывать входной контроль при получении пластин (подложек) от поставщика.

Измерительные характеристики

• Чувствительность— 0,10 мкм;
• Технологическая норма—350 нм+
• Производительность —100 пластин/час (Ø200 мм);
• Воспроизводимость контроля: 1 σ;
• Аргонный лазер—488 нм, 30 мВ;
• Диаметр пластин—не более 200 мм;
• Габариты—750х770х1680 мм