Описание:

Установки сушки в критической точке Samdri успешно используются для повышения качества изготовленных МЭМС устройств, а также увеличения объема производства за счет уменьшения брака при выпуске.

Установки используются для сушки в углекислом газе отделенных элементов МЭМС после жидкостного травления. Важнейшим преимуществом этих систем является предотвращение «слипания» элементов МЭМС.

Характеристики:

Особенности:

• Высокая эффективность внутреннего замкнутого цикла охлаждения  (от 22С до рабочей температуры менее чем за 3 минуты)
• Фильтры легко могут быть сняты для простого технического обслуживания
• Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и  отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляет пары спирта
• Уникальные вставки в камеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а также позволяет обрабатывать пластины различного размера.
• Обработка до 5 пластин х 4 дюйма в диаметре одновременно.  Система комплектуется дополнительными держателями устойчивыми к плавиковой кислоте для обработки пластин следующих размеров: 5 x 3", 5 x 2"  или для 5 квадратных пластин 10 мм. Держатели компании tousimis® устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах для жидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства к устройству.
• Подсветка камеры с смотровым окном
• Автоматическая обработка пластин под контролем интегрированного микропроцессора
• все внутренние поверхности инертны к углекислому газу и ультрачистым спиртам
• Повторяемые параметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата
• Статистический модуль контроля давления обеспечивает стабильное безопасное давление
• Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистоту углекислого газа в камере до 0,4 микрон
• LED панель управления
• Дизайн установки подходящий для использования в чистой комнате
• Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, UL и/или U.S. Military Specifications.

Спецификация:

• Размеры установки: 21" (53.3 см) ширина x 34" (86.4 см) глубина x 45" (114.3 см) высота
• Занимаемая площадь: 24" (61.0 см) ширина x 34" (86.4 см) глубина
• Размер камеры: 4.50" x 1.25" / Объем камеры:326 мл
• Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi
• Электричество: 220В / 50 Гц