Описание:

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. ИК источник микроскопа освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий  свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным увидеть структуру внутри кремниевой пластины, что нельзя сделать на обычном микроскопе.

Микроскоп оснащен объективом с большой глубиной резкозти. 3х шаговый зум позволяет пользователю выбрать нужное поле зрения. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Разрешение лучше 3х микрон при использовании объектива 5х.

Дополнительно доступна подсветка передней стороны. Это позволяет использовать микроскоп в обычном режиме для контроля лицевой стороны пластины.  

ИК микроскоп оснащен XY столом, на котором можно разместить пластину до 8 дюймов.  Стол оснащен моторизированным приводом , движения стола контролируются с помощью джойстика.

Микроскопы поставляются в различных конфигурациях: системы с моторизированным приводом и ручным. У систем с моторизированным приводом, движения стола контролируются с помощью джойстика. Для лабораторного использования предлагаются недорогие микроскопы с ручным приводом пластин

 

Основные возможности:

• ИК подсветка с задней стороны
• Подсветка передней стороны
• xy-стол для 8'' пластин или меньше
• Объективы с большой рабочей дистанцией
• 3-х шаговый зум
• ИК чувствительная камера
• Инспекция на компьютере

 

Применение:

• Инспекция отделения элементов МЕМС
• Измерение скорости травления скрытых структур (такие как кремний на изоляторе)
• Инспекция качества бондинга 
• Совмещение с обратной стороны пластин/ чипов
• Контроль качества 

 

Преимущества:

• Надежное изготовление наименьших анкеров для МЕМС с более высоким   заполнением 
• Подсветка передней и задней стороны 
• Высокое разрешение (< 3 микрон с 5x объективом)
• Небольшая занимаемая площадь
• Лёгкий в эксплуатации  

 Графический интерфейс пользователя.   

Графический интерфейс пользователя для Windows позволяет пользователю управлять микроскопом с ПК. Дает полный контроль над микроскопом и получение изображений.   

 

Изображение с высоким разрешением целой поверхности пластины может быть получено автоматически из нескольких изображений участков пластин. Такие изображения могут быть сохранены на жестком диске.