Описание:

Осаждение тонких пленок через маску - это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.

Компания Idonus предлагает высокоточную систему совмещения маски с пластиной. Оборудование обеспечивает высокую повторяемостью результата. Система оборудована специальным антивибрационным держателем. Используя микроскоп можно добиться точности совмещения в 6 микрон. После совмещения держатель может быть помещен в вакуумную камеру PVD.
После осаждения маска может быть отделена от пластины, разъединив крепление держателя, далее маску можно использовать повторно. Могут быть поставлены держатели под разные размеры пластин и масок.

 

Основные возможности:

• Вакуумный держатель пластин
• Вакуумный держатель масок
• Простой механизм фиксации пластин
• Антивибрационный держатель для PVD
• Идеальна для различных размеров пластин
• Не требует инсталляции
• Низкие расходы на запуск

 

Схема

Изображение системы для пластин 100 мм с держателем готовым к совмещению

Схема держателя

Изображение установки подготовленной к загрузке пластины.
Нижняя часть отодвинута для загрузки пластины в нижний держатель (маска не загружена на изображении)

 

Блок распределения воздуха.

Блок распределения вакуума для индивидуального переключения и регулировании вакуума на различные держатели.