Характеристики и описание
- Основные
- Производитель
- Страна производительСША
Описание:
- Высочайшая однородность плазмы с минимальными сроками обработки
- Техпроцесс полностью готов к производству
- Высокая автономность установки
- Обслуживаемые узлы расположены на удобных фронтальных полозьях
- Высочайшая производительность и низкая стоимость эксплуатации
Плазменная технология высочайшего качества для высокопроизводительной обработки рамок микросхем
Система FlexTRACK-SH предназначена для плазменной обработки полос рамок микросхем, пленочных подложек и других рамочных типов микроэлектронных компонентов – до пяти рамок за цикл. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает единообразную обработку всех образцов, а строгий контроль всех параметров процесса – повторяемые результаты.
Универсальная архитектура системы FlexTRACK-SH обеспечивает возможность переналадки под широкий спектр размеров рамок без установки дополнительных надстроек, что позволяет достигать непревзойденной производственной гибкости. Небольшой объем рабочей камеры и патентованная система управления параметрами процесса плазменной обработки обеспечивает короткое время цикла одновременно с высокой степенью автономности производства
Области применения
Плазменная пре-обработка для операций присоединения кристаллов, разварки проволочных выводов и корпусирования.
|
Удаление загрязнений и очистка |
|
|
Травление |
|
|
Активация поверхности |
|
Высокопроизводительная обработка
Интегрированная система обработки рамок полупроводниковых компонентов FlexTRACK-SH предоставляет быструю передачу рамок для широкого диапазона типоразмеров. Обработка может быть выполнена при загрузке в большинство известных типов магазинов и носителей. Запатентованная конструкция плазменной камеры и архитектура системы управления обеспечивают короткое время рабочего цикла с наименьшими потерями времени – для максимальной производительности и минимальными эксплуатационными затратами.
Технические характеристики FlexTRACK-SH
|
Корпус |
Прессованный алюминий Полностью закрывает рабочую камеру, электронику, насос и генератор |
|
||||||||||||||||||
|
Камера |
Материал: никелерованный алюминий с алюминиевой оснасткой Рабочая зона: 305х305х50 мм Равномерная подача рабочего газа |
|||||||||||||||||||
|
ВЧ-генератор |
600Вт, 13,56МГц |
|||||||||||||||||||
|
Управление потоком газа |
Два(2) контроллера потока: 100 ст.см3/мин, 250 ст.см3/мин Возможность установки до четырех контроллеров |
|||||||||||||||||||
|
Интерфейс пользователя |
ПК с сенсорным экраном и интуитивным графическим интерфейсом Неограниченное хранилище программ |
|||||||||||||||||||
|
Система откачки |
Безмасляный насос 453,1 л/мин Варьируемая частота оборотов мотора для обеспечения целостности процесса Совместима с корродирующими газами |
|||||||||||||||||||
|
Требования к рабочему помещению |
Габариты системы Ш х Г х В (считая сигнальный маячок): 2152 х 1713 х 1912 мм Линия электропитания: Однофазная сеть, 200В перем. тока, 20А, 50/60Гц Подача рабочих газов: 6мм разъем, 0,7..1,4 Бар Сжатый воздух: 6мм разъем, 5,5..6,9 Бар поток: 25 л/мин при 2,5 циклах/мин Азот (N2) или сж. воздух (камера): 6мм разъем, 5,5..6,9 Бар поток: 25 л/мин при 2,5 циклах/мин (пиковое значение: 150 л/мин) Азот (N2) (насос): 6мм разъем, 0,7..3,5 Бар поток: 1,65 л/мин |
|||||||||||||||||||
|
Совместимость |
Сертификат CE SMEMA 1.2 SEMI E-10 |
Установка плазменной обработки March FlexTRACK-SH
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии