Система ADT 7900 Duo с двумя рабочими шпинделями – предназначена для прецизионной дисковой резки широкого спектра полупроводниковых материалов, разделения групповых заготовок, МЭМС-компонентов, светодиодных компонентов и многого другого. Производительность системы, по сравнению с одношпиндельными системами, почти в два раза выше, при той же самой занимаемой производственной площади.
Установка обладает высокой гибкостью, универсальностью, простотой обслуживания, оснащается системой технического зрения, удобным и простым графическим интерфейсом управления, а так же возможностью работы с осколками пластин, что является важным в условиях мелкосерийных и опытно-конструкторских производств. Эти же факторы в сочетании с высокой производительностью позволяют с успехом использовать данную систему и в условиях серийных производств.
Система оснащена рабочими шпинделями уникальной конструкции с фронтальным закреплением, что позволяет значительно минимизировать вибрации на шпинделе и снизить влияние термического расширения шпинделя на положение режущего диска, следовательно, значительно улучшить качество реза.
Графический интерфейс
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
Максимальный размер обрабатываемых подложек |
- |
- |
6"х6" |
Ось Х |
Диапазон рабочего хода |
мм |
410 |
|
Максимальная скорость |
мм/сек |
600 |
|
Привод |
Подающий винт с шарикоподшипником Скольжение по воздушным подшипникам |
-
- |
Оси Y1/Y2 |
Диапазон рабочего хода |
мм |
160 |
|
Разрешение |
мкм |
0.2 |
|
Суммарная точность |
мкм |
1.5 |
|
Точность позиционирования |
мкм |
1.0 |
Оси Z1/Z2 |
Диапазон рабочего хода |
мм |
40 |
|
Разрешение |
мкм |
0.2 |
|
Точность |
мкм |
2.0 |
|
Воспроизводимость |
мкм |
1.0 |
|
Привод |
Подающий винт с шарикоподшипником |
- |
Ось вращения F |
Рабочий диапазон |
Градусы |
350 |
|
Точность |
Угловые секунды |
4" |
|
Воспроизводимость |
Угловые секунды |
4" |
|
Привод |
Прямой, с обратной связью |
- |
Шпиндель |
Два шпинделя |
|
|
|
Выходная мощность |
кВт |
1.2 |
|
Максимальная скорость |
Об/мин |
60 000 |
|
Момент |
Н/м |
0.25 |
Подсветка |
Вертикальная и наклонная |
Высококонтрастная светодиодная |
- |
Система технического зрения |
Цифровая камера |
- |
- |
Требования к подключению |
Энергопотребление |
1ф, 50/60Гц |
200-240В |
|
Потребление воздуха |
л/мин |
260 |
|
Давление воздуха |
бар |
5.5 |
|
Вода для охлаждения зоны резания 1 |
л/мин |
3 |
|
Вода для охлаждения шпинделя 1 |
л/мин |
1.1 |
Габариты |
ШхГхВ |
мм |
875х975х1450 |
|
Вес |
кг |
900 |
Особенности |
Автоматическое совмещение |
|
- |
|
Автоматический контроль реза |
|
- |
|
Автоматическая коррекция положения по оси Y |
|
- |
|
|
||
1 – на один шпиндель |