Описание:

Установки серии 7200 предназначены для прецизионной дисковой резки широкого спектра материалов, разработаны с учетом новейших требований к полупроводниковым компонентам и задают новые стандарты по автоматизации, производительности, простоте настройки и технологическим возможностям.

Серия установок 7200 включает три модели – ProDice, MegaDice и GigaDice. Данные установки предлагают широкий набор опций по автоматизации и мониторингу технологического процесса и удовлетворяют высоким требованиям к качеству и производительности в области резки таких компонентов, как: кремний, стекло на кремнии и GaAs-подложки, корпуса типа BGA и QFN, LTCC, кварца, карбида кремния и других твердых материалов.

• Размеры обрабатываемых пластин: до Ø300мм, разделение групповых заготовок с размерами до 245х234мм
• Размеры дисков: 
  • 2"-3" – модели ProDice, MegaDice< /li>
  • 4"-5" – модели GigaDice
• Шпиндель: 
  • ProDice: Воздушный подшипник, бесщеточные на постоянном токе, 60 тыс. об/мин, 1.2 кВт
  • MegaDice: Воздушный подшипник, бесщеточные на постоянном токе, 60 тыс. об/мин, 2.4 кВт
• Точность по оси индексирования (Y):
  • Привод: Подающий винт с шарикоподшипником и шаговым двигателем
  • Управление: Линейный датчик положения
  • Разрешение: 0.2 мкм
  • Суммарная точность: 1.5 мкм (пластины Ø200мм)
  • Суммарная точность: 3 мкм (пластины Ø300мм)
  • Точность позиционирования: 1.0 мкм
• Точность по оси глубины резки (Z):
  • Приводной: Подающий винт с шарикоподшипником и шаговым двигателем
  • Разрешение: 0.2 мкм
  • Точность: 2 мкм
  • Воспроизводимость: 1 мкм
• Ось подачи (X):
  • Привод: Подающий винт с шарикоподшипником с бесщеточным электромотором постоянного тока
  • Скорость подачи: до 680 мм/сек
• Ось вращения столика (θ):
  • Приводной механизм: бесщеточный, на постоянном токе, прямой, с обратной связью
  • Точность поворота: 4"
  • Воспроизводимость: 4"
  • Ход: 350о
• Система технического зрения:
• Цифровая камера, технология "Fire-Wire", яркая светодиодная подсветка (вертикальная и наклонная), плавное цифровое видео масштабирование от х70 до х280 или от х35 до х140 (опция)
• Система подачи подложек:
• Несущая кассета, сохранение порядка подложек в кассете, контрольное расчерчивание, детектор поломки режущих дисков, устройство отвода электростатического заряда (опция), узел УФ-сушки (опция), считыватель штрих-кодов (опция), наполняющий узел (опция)
• Пользовательский интерфейс:
• Плоский 15" сенсорный экран, графический пользовательский интерфейс, поддержка многих языков, клавиатура и мышка