Эллипсометр  обеспечивает особо высокое быстродействие и точность.  Эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин и оптических параметров тонких пленок, простых тонкопленочных структур и объемных (в том числе анизотропных) материалов и жидкостей Обеспечивается измерение ультратонких отдельных слоев толщиной от 0.1 ангстрема.

Программное обеспечение работает в операционных системах WindowsXP, Windows 7/8 . Программа реализует измерение и накопление данных в автоматическом режиме, обеспечивает управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных. Программное обеспечение имеет интуинтивно понятный интерфейс и включает в себя библиотеку моделирования и фиттинга эллипсометрических измерений, библиотеку материалов для длины волны 635 нм.

Основные возможности программного обеспечения:

1. Измерение толщин и коэффициентов отражения.
2. Проведение кинетических измерений (типичное 1 милисекунда).
3. Многоугловые измерения.
4. Симуляция всех видов для всех видов эллипсометрических измерений , как функций падения света.
5. Самодокументирование программы в виде файов измерений, рапортов, содержащих графики и данные измерений.

Программа поддерживает описание следующих моделей и материалов :

• измеряемая структура может состоять из несколких материалов ( до 3 ) ;
• тип вхождения материалов может рассчитываться по моделям эффективной среды трех типов: Бруггемана, Максвелла-Гартнера, Лоренц-Лоренца.