Характеристики и описание

МИМ-340 - Промышленный микроскоп для исследования субмикронных структур

Предназначен для исследования оптических свойств микро и нанорельефа крупногабаритных объектов, например поверхностей оптических элементов, вейферов, с рекордно высоким для оптической микроскопии разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости объекта.

Обеспечивает нанометровую (не более 100 нм) точность позиционирования объекта и привязку измеряемой области к единой системе координат.

Лазерный измерительный микроскоп, сочетающий визуализацию объектов с нанометровым разрешением и позиционирование отдельных субмикронных полей в единой координатной системе с размером поля 300х300мм, создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач. Применение МИМ будет способствовать внедрению и развитию нанотехнологий в промышленности. Показана перспективность применения МИМ в оптической промышленности для измерения шероховатости, исследования дифракционных рельефов и т.д.

Лазерный интерференционный микроскоп МИМ обладает нанометровым разрешением, высоким быстродействием и не разрушает объект в процессе исследования, что дает возможность проводить неразрушающие исследования наноразмерных структурных объектов. Использование совместно с микроскопом МИМ координатных столов, обладающих нанометровой точностью позиционирования и большой длиной хода, позволяет изучать с нанометровой точностью не только отдельные области макроскопического объекта, но и весь объект целиком.

Принцип действия

Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Такое сочетание позволяет исследовать поверхность крупногабаритных (до 300х300 мм) объектов методом МИМ без потери координаты и фокуса.

В основе технологии МИМ лежат основные принципы лазерной микроинтерферометрии. Изображение формируется модернизированным трехшаговым методом. В отличие от традиционных многошаговых методов, алгоритм расчета фазы, реализованный в МИМ, состоит в том, что точки стояния опорного зеркала и закон его перемещения выбираются из соображений минимизации погрешностей измерения фазы.

Принцип действия аэромагнитных направляющих заключается в следующем: направляющая состоит из рельса и танкетки, внутри которой размещен постоянный магнит и каналы подачи сжатого воздуха. Между танкеткой и рельсом в работе создается аэростатическая воздушная подушка, подъемная сила которой уравновешивается силой магнитного притяжения. Равновесие достигается при зазоре в несколько микрон, что предопределяет высокую жесткость и нагрузочную способность системы.

Особенности и преимущества

Единственный в мире микроскоп со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения;
Высокое быстродействие;
Бесконтактность измерений;
Простота работы;
Метрологическая достоверность измерений;

Применение

Материаловедение;
Оптическая промышленность;
Точное машиностроение;
Авиационно-космическая промышленность;
Медицина

«Эксперты РОСНАНО признали МИМ-340 одним из лучших в мире по разрешающим способностям. Главным преимуществом микроскопа является решение не только медицинских вопросов. В числе уникальных возможностей микроскопа: визуализация клетки крови для выявления патологии эритроцитов, активация Т-лимфоциты (применительно к трансплантологии и фармакологии), выявление морфологии опухолевых клеток, для определения новых методов скрининга лекарственных препаратов.

Спецификация

№ п/п	Характеристика	Значение
1.	Характеристики микроскопа
1.1	Оптическое увеличение	1000 х
1.2	Поле зрения, мкм	7-150
1.3	Разрешение по вертикали, нм	0,1
1.4	Разрешение в плоскости XY, нм	100 - 10
1.5	Размер кадра, пикс.	1024 х 1024
1.6	Скорость съемки, кадр/сек	3 - 30
1.7	Источника света	Лазер 405 нм
2.	Характеристики предметного стола
2.1	Длина хода (X - Y - Z), мм	300x300x100
2.2	Результирующая точность, нм	150
2.3	Разрешение обратной связи, нм	100
2.4	Неплоскостность хода, нм	80
2.5	Непрямолинейность хода, нм	40
2.6	Скорость перемещения, мм/с	До 100
2.7	Грузоподъемность, кг.	100
2.8	Вес, кг.	700