Установка быстрой температурной обработки SemiTEq STE RTA100 - «Научное и производственное оборудование | лабораторное оборудование | Theseus Lab» в Чехии

Установка быстрой температурной обработки SemiTEq STE RTA100

Под заказ
Цену уточняйте
Кредит от наших финансовых партнеров.   Детальнее
Добавить в избранное
Достижения продавца
3 года
на портале
Способы оплаты
Безналичный расчет
Способы доставки
Самовывоз, Транспортная компания
Характеристики
Основные атрибуты
Страна производитель Россия
Производитель

Бренд, торговая марка или название предприятия-производителя, под знаком которого изготовлен товар. «Собственное производство» означает, что товар изготовлен продавцом либо не сертифицирован.

SemiTEq
Описание

Описание:

  • предварительная откачка рабочей камеры с помощью мембранного насоса или спирального насоса (опция);
  • управление мощностью нагрева с помощью тиристорного регулятора;
  • автоматизация процесса откачки и газовой продувки камеры, позволяющая проведение процесса «по нажатию одной кнопки»;
  • возможность программирования «многостадийного» процесса отжига с помощью встроенного ПИД-контроллера;
  • контроль температуры рабочего столика с помощью двух термопар;
  • возможность установки оптического пирометра для дополнительного контроля температуры поверхности отжигаемой пластины (опция);
  • простота эксплуатации.

Установка STE RTA79 предназначена для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины составляет 100 мм. Пластина (образец) загружается в камеру вручную через боковой фланец быстрого доступа и устанавливается на тепловыравнивающий столик из пиролитического графита, под которым находится нагреватель на основе системы линейных галогеновых ламп.

Конструкция установки позволяет проводить сравнительно кратковременные процессы с температурой до 900°С и максимальной скоростью достижения заданной температуры до 40°С/сек. Продолжительность процесса отжига при максимальной температуре составляет до 10 минут. Камера из нержавеющей стали герметична и имеет интегрированное водяное охлаждение стенок. Для наблюдения за процессом отжига в ней предусмотрено кварцевое смотровое окно (используется также для установки ИК-пирометра).

Режимы работы:

  • непрерывная продувка камеры инертным газом в ходе отжига образца, регулируемая с помощью ручного ротаметра;
  • режим с автоматического поддержания заданного уровня давления внутри камеры.
Отзывы о товаре
Об этом товаре пока что нет отзывов.
Вы можете оставить первый отзыв.
50% положительных из 28 отзывов
Актуальность цены 33%
Актуальность наличия 50%
Актуальность описания 33%
Выполнение заказа в срок 22%
  • 5
    Отлично
    Очень оперативно и полно предоставили информацию по интересующему товару
    • Цена актуальна
    • Наличие актуально
    • Описание актуально
    Комментарий компании:
    Спасибо за Ваше мнение. Надеемся на дальнейшее сотрудничество.
  • 5
    Отлично
    Я получил исчерпывающий ответ на свой вопрос
    • Цена актуальна
    • Наличие актуально
    • Описание актуально
    Комментарий компании:
    Здравствуйте. Обращайтесь, будем рады сотрудничеству.
Установка быстрой температурной обработки SemiTEq STE RTA100
Под заказ
Цену уточняйте